Hva er fotolitografi?
Fotolitografi er en av de viktige prosessene i produksjonen av integrerte kretser (ICer eller brikker). Bare si at det er prosessen med å kopiere et kretsmønster på et underlag ved å bruke fotomasken og fotoresisten.
Underlaget vil bli malt på silisiumdioksid isolasjonslag og fotoresist. Fotoresisten kan lett løses opp med en fremkaller etter å ha blitt eksponert for UV-lys, etter dissolver og etsing vil kretsmønsteret bli liggende på underlaget.
Hva er Photoresist? Hvorfor må 500nm UV-bølgelengde blokkere?
Fotoresist er kombinert med harpiks, løsemidler og tilsetningsstoffer. Det lysfølsomme området for fotoresist er 200nm-500nm. Derfor vil mange halvlederlaboratorier ta i bruk gult lys som blokkerer 500 nm UV-bølgelengde for å forhindre fotoresistens overeksponerte eller for tidlig eksponerte situasjoner.
